本设备把Photo Mask 和Wafer 的对位标记进行对位重合，进行软接触曝光的Mask 对位设备。由图像处理系 统自动进行对位处理。 Cassette 对Cassette 的搬送，Pre-Alignment，Alignment，曝光等一系列的动作自动进行。 可以通过对触摸屏的操作，输入曝光所需要的必要条件。 通过搭载的3 台搬送机械臂，从而实现高速率的生产。 ◆将插入Wafer 的专用Cassette 置入设备后，开始生产。 ① 收纳在Loader Cassette 内的Wafer 数量・状态由传感器读取（图片） ② 由搬送机械臂1 把Wafer 从Loader Cassette 搬送到预对位操作台上 ③ 根据外形，平边整合并进行预对位 ④ 由搬送机械臂2 运载wafer 到操作台上 ⑤ 自动对位 ⑥ 曝光位置管理 ⑦ 曝光 ⑧ Wafer 放入到Unloa[查看]

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本灯是200W的UV灯管；品牌是：美国陆明；万志宇专业代理进口UV灯管；万志宇始于2003年一直致力于各种特种光源领域，主要代理世界顶尖品牌日本USHIO各种高科技特种光源产品，紫外线固化灯，石英卤素杯灯，UV照度计，曝光灯，晒版灯，无极灯，短弧高压球形汞灯，光清洗灯，准分子灯，点光源等产品。[查看]

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本产品是日本USHIO公司生产的LCD芯片曝光机，本产品产品名为：自动 Maks Aligner UV光刻设备；型号为：UPE-1255ATL；[查看]

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