曝光灯使用异常分析-照度异常

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文章出处：Caitlin责任编辑：Caitlin 发表时间：2016-04-14 11:31:00

针对曝光灯照度问题，我们需进行各方面的确认，冷却系统，安装有无正确，机器本身，及灯管有无损坏等各方面进行分析来确认来故障发生的原因。

曝光灯在使用时，一般照度低下出现的情况常有的。曝光机使用久了会老化，曝光灯他有使用寿命也有能量的维持率，正常情况一支曝光灯在保用寿命期内只要能量维持率下降情况不超过20%，都属于照度能量的正常下降。

一般曝光灯能量低下，及维持率下降快，主要是由于设备的不集光、过度冷却、光学元件老化清洁度、经常性的开关曝光机等引起。

1、由于设备的不集光，会导至露光面照度低下，这种情况是可以对照底进行控制，调整XYZ轴来修正，使照度达到最优;

2、设备过度冷却，会导至Hg蒸气密度减少，会引起照低下，并且会使照度下降快;

3、曝光机的光学元件的老化、清洁度，都会至使曝光的照度能量低下，当机器的光学元件老化到一定成度后，我们应及时更换新的光学元件，并定期检查灯管及配件，及时做好配件老化的更换工作。当曝光机光学元件过多污物灰尘时应请专业人员做曝光机光学元件清洁保养工作。

4、不同的机台曝光灯照度的维持率是有差别的！

我们在日常使用曝光灯时，应做好曝光灯曝光机光学元件的保养维护工作，来提高曝光的照度。当曝光机光学配件达到一定老化成度及曝光灯达到使用寿命时应做好及时更换工作。