光刻机的工作原理

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文章出处：万志宇责任编辑：HE 发表时间：2016-08-09 10:00:00

一般来说是用激光。比如说要在玻璃上刻蚀图形，大致步骤为：清洗玻璃、干燥、在玻璃上涂覆光致抗蚀剂（即光刻胶有正性和负性之分）、干燥（固化）、曝光（方式很多，如激光直写、通过掩模板同时曝光等）、去胶（光刻胶曝光后性质发生光化学变化，去胶的方法也很多，如放在刻蚀剂中，用正性胶的话，被光照到的地方就会被溶解，没有光照到的地方光刻胶保留下来，到这里就已经在光刻胶上刻蚀出了所需图形）、清洗、转移