曝光机工作原理

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文章出处：万志宇责任编辑：HE 发表时间：2016-08-30 10:00:00

曝光机工作原理

在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。

曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。

曝光机是20世纪60年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来，70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。